气体纯度分析仪

气体纯度分析仪主要用于纯度大于99.999%高纯气体中痕量杂质的检测，进而实现高纯气体的纯度分析，能够解决高纯气体中ppb~ppm级痕量杂质气体浓度准确检测问题，满足精密制造、半导体制造、航空航天等高精尖领域对高纯气体杂质浓度准确定量需求，有效提升制造水平、产品质量和装备性能。该仪器配备一种具有通用型、非放射性和超高灵敏度特点的脉冲放电氦离子化检测器，可以激发除氖以外的所有气体，几乎对所有的有机和无机气体均有很高的响应，最低检测限达ppb级；仪器采用多个吹扫型进样阀及多个色谱柱组成的多阀多柱分离系统，实现中心切割与反吹分离技术，通过软件设置时间程序自动控制进样、切换、切割与反吹过程，实现对高纯气体的分析；也可针对半导体电子特气等制定特定的分析方案。

产品指标：

PDHID模式（通用型检测器）

1、检测灵敏度：5 nmol/mol CH4

2、检测重复性：≤2%

3、检测稳定性：≤3%

4、测量范围：5ppb~5000ppm

5、线性范围：106

6、测量误差：≤1% FS（氦中甲烷5ppm）

ECD模式(选择型检测器)

1、检测灵敏度：0.05 nmol/mol SF6

2、检测重复性：≤3%

3、检测稳定性：≤4%

4、测量范围：5ppb~500ppm

5、线性范围：104

6、测量误差：≤1% FS（氦中六氟化硫10 ppb）

技术特点：

1、超高灵敏度脉冲放电氦离子化检测器，最低检出限达5 nmol/mol CH4。

2、稳定的脉冲高压放电和pA级微弱电流信号采集。

3、多阀多柱分离系统，自动化进行对高纯气体痕量杂质的分析。

4、全新工业设计，采用超低泄漏率的卡套或VCR接头连接带吹扫保护气路的无死体积进样阀，将样品与空气有效隔离，避免空气污染。

5、搭载氦气纯化器，有效降低载气中杂质对检测结果的影响。

6、满足环境适应性、GJB3947A-2009四级设备、电磁兼容性、安全性等要求。

应用案例：

为模拟卫星在太空运行的接近绝对零度的超低温环境状态，已在某单位建设了大型液氦制冷装置，该装置必须在氦气纯度大于99.999%以上时才能正常运行。采用本产品对该制冷装置多个点位氦气纯度进行了在线监测，准确提供了氦气在管路内运行的杂质含量和纯度数据。